機械ユニット・部品類
真空装置（半導体製造装置・電子デバイス製造装置）のユニット・部品の設計をおこなっています。これまでに培ってきた技術と経験で、ご希望の仕様を実現します。
機械ユニット・部品類設計事例
課題をクリアするにはどうしたらいいのか？
原因究明を通じて、問題解決のソリューションを提案いたします。
メインポンプをDPからクライオに変更したい
オイルフリーのクライオポンプへの変更により、チャンバー内へのオイル拡散を防止。膜質改善を図ります。また、DPに比べ排気速度が大きいため、生産性向上にも寄与します。
生産性を上げたい
新しい装置を購入せずに、生産性を上げるのであれば、膜付けのスピードを上げる必要があります。そのために、基板を運搬するロボットの設計を変更。従来よりスピードアップすることで、増産に対応できます。
スパッタターゲットサイズ変更
必要とされる膜厚分布を保ちながら、スパッタターゲットをサイズダウンすることにより、低コスト化を実現します。
部品の製作もおこなっています
部品の交換が必要なら、当社でサードパーティ製の部品をご用意いたします。純正品よりも大幅なコストダウンが見込め、さらに迅速に対応できます。
中古のユニットも扱っています
国内外に広がる当社のネットワークを使って、お客様が必要としている中古ユニットを探します。若干、手を加えて使用できるようなら、当社が改造もおこないます。
