製品紹介
アドバンスインスツルメンツでは、半導体製造装置・電子デバイス製造装置に関する各種製品を開発しております。下記製品以外にも、オリジナルで製作したいユニットがありましたら、ご相談ください。
クライオポンプシステム用インバーターユニット
クライオポンプに取り付けることにより、お客様保有装置の稼動可能時間を延長し、生産性の向上を図ります。
※ 2007年4月リリース予定
生産性を向上
ポンプ再生時のクールダウン時間を短縮し、装置の稼動可能時間をアップします。
生産の安定性
クライオポンプの状態をつねにモニターし、必要に応じインバーター制御することにより、安定した装置稼動が可能となります。
省エネ仕様
クライオポンプの状態をつねにモニターし、ポンプへの負荷に合わせて最適な運転をおこなうため、省エネが可能となります。
クライオポンプ化およびクライオ再生コントローラー
DPなどからクライオポンプへの変更の際、クライオ再生コントローラーを取り付けるこ とにより、クライオの再生が自動でおこなえます。
クライオポンプ化
装置のメイン排気系をDPからクライオへ変更。 オイルフリーのクライオポンプへの変更により、チャンバー内へのオイル拡散を防止。膜質改善を図ります。また、DPに比べ排気速度が大きいため、生産性向上にも寄与します。
クライオ再生コントローラー
クライオ再生コントローラーは、容易に「クライオポンプ化」に対応できる「増設電気ユニット」です。制御の中心はプログラマブル・リレー（超小型シーケンサ）で対応しており、柔軟性に富んでいます。既存の排気シーケンスに対し『割込式』の形態で機能します。
