ポンプオーバーホール
真空装置(半導体製造装置・電子デバイス製造装置)に使用されるクライオポンプのオーバーホールおよびコンプレッサー内のアドゾーバー再生をおこなっております。
全メーカー・全モデルのクライオポンプのオーバーホールを低価格でご提供します。
クライオポンプ以外のポンプも承っております。お問い合わせください。
クライオポンプオーバーホール
お客様のコストダウンと稼働率向上、品質維持のご要求にお応えいたします。
サービス対応
- 不具合発生時
原因解析を必要とする場合、解析に基づいた不具合報告書を提出いたします。 - オプション対応
- パーシャルオーバーホール(真空室内のみなど、必要な箇所のオーバーホール)
- ガス負荷テストなどの特別なテスト
- 真空保管での出荷
- 技術サポート
クライオ使用中に発生するポンプおよび真空に関する不具合・問題点などの、クライオポンプおよび真空に関する技術的なサポートをいたします。 - ポンプ取り外し、取り付け作業の請負
お客様のご依頼により当社よりエンジニアを派遣し、ポンプの取り外し、取り付け動作確認までの作業、また、アドゾーバーやコンプレッサーの交換作業などもいたします。
アドゾーバー再生
コンプレッサーで使用しているアドゾーバーの再生もおこなっております。アドゾーバー内の活性炭だけを新品と入れ替えることにより、低価格で再生しています。