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ポンプオーバーホール

ポンプオーバーホール

真空装置(半導体製造装置・電子デバイス製造装置)に使用されるクライオポンプのオーバーホールおよびコンプレッサー内のアドゾーバー再生をおこなっております。

全メーカー・全モデルのクライオポンプのオーバーホールを低価格でご提供します。

クライオポンプ以外のポンプも承っております。お問い合わせください。


クライオポンプオーバーホール

お客様のコストダウンと稼働率向上、品質維持のご要求にお応えいたします。

サービス対応

  • 不具合発生時
    原因解析を必要とする場合、解析に基づいた不具合報告書を提出いたします。
  • オプション対応
    1. パーシャルオーバーホール(真空室内のみなど、必要な箇所のオーバーホール)
    2. ガス負荷テストなどの特別なテスト
    3. 真空保管での出荷
  • 技術サポート
    クライオ使用中に発生するポンプおよび真空に関する不具合・問題点などの、クライオポンプおよび真空に関する技術的なサポートをいたします。
  • ポンプ取り外し、取り付け作業の請負
    お客様のご依頼により当社よりエンジニアを派遣し、ポンプの取り外し、取り付け動作確認までの作業、また、アドゾーバーやコンプレッサーの交換作業などもいたします。

アドゾーバー再生

コンプレッサーで使用しているアドゾーバーの再生もおこなっております。アドゾーバー内の活性炭だけを新品と入れ替えることにより、低価格で再生しています。

ご相談はお気軽にどうぞ
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