ILC-1051MK II マルチチャンバースパッタ装置
ID : T002
| 1991年 | φ6" JEIDA |
| 年式 | 1991年8月 |
| ウェハーサイズ | φ6" JEIDA |
| チャンバー仕様 | ECTH（L1） / SPUTTER（L2/R1/R2） SEPARATION（標準アーム） LOAD LOCK（L & R カセット） |
| プラズマ電源 | ECTH（RF・1.2KW） SPUTTER（DC 15KW）（DC 15KW）（DC 8KW） |
| メインポンプ | クライオポンプ（6室独立排気） |
 |
 |
ILD-4033 ドライエッチング装置
ID : T005
| 1994年 | φ6" JEIDA |
| 年式 | 1994年11月 |
| ウェハーサイズ | φ6" JEIDA |
| チャンバー仕様 | 酸化膜エッチャー AUTO LOADER（ROBOT） LOAD LOCK（LL-L & LL-R） |
| プラズマ電源 | RF電源（1.2KW） |
| メインポンプ | ターボポンプ |
ILD-4032 ドライエッチング装置
ID : T006
| 1991年 | φ6" JEIDA |
| 年式 | 1991年8月 |
| ウェハーサイズ | φ6" JEIDA |
| チャンバー仕様 | 酸化膜エッチャー AUTO LOADER（ROBOT） LOAD LOCK |
| プラズマ電源 | RF電源（1.0KW） |
| メインポンプ | ターボポンプ |
ILD-4015 ドライエッチング装置
ID : T007
| 1991年 | φ6" JEIDA |
| 年式 | 1991年9月 |
| ウェハーサイズ | φ6" JEIDA |
| チャンバー仕様 | ALエッチャー AUTO LOADER（ROBOT） LOAD LOCK |
| プラズマ電源 | RF電源（2.4KW） |
| メインポンプ | ターボポンプ |
 |
